Electromigration
Definition / 释义
Electromigration(电迁移):在高电流密度条件下,导体(常见为金属互连线,如铜/铝)中的金属原子在电子“冲击”与动量传递作用下发生定向迁移的现象,可能导致材料中形成空洞(void)或堆积(hillock),从而引发开路、短路等失效。该词在微电子与材料可靠性领域最常见。(也可泛指电场/电流驱动的物质迁移现象,但以芯片互连语境最常用。)
Pronunciation / 发音(IPA)
/ɪˌlɛktroʊmaɪˈɡreɪʃən/
Examples / 例句
Electromigration can damage thin wires over time.
电迁移会随着时间推移损坏细金属导线。
As transistor sizes shrink, managing electromigration in on-chip interconnects becomes critical to long-term reliability.
随着晶体管尺寸不断缩小,控制芯片内部互连线中的电迁移对长期可靠性变得至关重要。
Etymology / 词源
由 **electro-**(“电的、与电有关的”,来自希腊语 ēlektron,意为“琥珀”,因古人观察到琥珀摩擦生电)+ migration(“迁移”,来自拉丁语 migrāre“移动、迁徙”)组合而成,字面意思就是“在电的作用下发生迁移”。
Related Words / 相关词
Notable Works / 文献与著作中的用例
- J. R. Black, “Electromigration—A Brief Survey and Some Recent Results”(1969,经典综述性论文,常被引用于“Black 方程”等可靠性讨论)
- J. R. Black, “Mass Transport of Aluminum by Momentum Exchange with Conducting Electrons”(早期关于铝互连电迁移机理的重要研究)
- S. M. Sze & K. K. Ng, 《Physics of Semiconductor Devices》(《半导体器件物理》相关章节常讨论互连、可靠性与失效机理,包括电迁移)
- James D. Plummer, Michael Deal, Peter Griffin, 《Silicon VLSI Technology》(VLSI 工艺与金属互连章节中常出现 electromigration 作为关键可靠性问题)