MEMS 是 Microelectromechanical Systems 的缩写，指微机电系统：把微型的机械结构（如微梁、微镜、微振子）与电子电路集成在同一芯片/基底上的器件与系统。常见于手机传感器（加速度计、陀螺仪）、汽车安全系统、医疗与工业检测等领域。（也可写作 MEMS devices/sensors）
/ˌmemz/
The phone uses MEMS sensors to detect movement.
手机使用 MEMS 传感器来检测运动。
MEMS technology enables tiny microphones and gyroscopes to be mass-produced with high precision, transforming consumer electronics and automotive safety.
MEMS 技术使微型麦克风和陀螺仪能够以高精度进行大规模生产，从而改变了消费电子与汽车安全领域。
MEMS 形成于 20 世纪后期微加工与半导体制造发展时期，是由 **micro-**（微小的）+ **electro-**（电的）+ mechanical（机械的）+ systems（系统）组合而成的首字母缩略词，用来概括“微尺度机电一体化系统”的概念。
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